一种用于化学气相沉积炉的进气管装置.pdfVIP

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2023-08-27 发布于四川
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一种用于化学气相沉积炉的进气管装置.pdf

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本实用新型涉及一种用于化学气相沉积炉的进气管装置，包括底座，底座具有带螺纹的沉孔，沉孔的底部具有通孔；套管包括管体，管体的一端为带有外螺纹的连接部，管体的另一端设置炉体连接部，炉体连接部内螺纹孔的直径大于管体的外径，管体的侧壁上设置有进气管；上气管的一端具有外螺纹，且上气管的管壁上设置有多个气孔；保护管具有保护管管体和设置于保护管管体端部的卡环；保护管的卡环放置在底座的沉孔内，套管套装在保护管的保护管管体上并由连接部与沉孔螺纹连接，上气管套装在保护管的保护管管体上且上气管的螺纹端插入炉体连接部内

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210237769 U (45)授权公告日 2020.04.03 (21)申请号 20192