太阳能单晶的制备及操作方法.pptxVIP

7/30/2023;7/30/2023;一.太阳能单晶生产中常用的设备 （见下图）;目前国内大部分从事太阳能单晶生产的企业所用的单晶炉基本上都是国内生产的，投料量都以60-85kg为主。单晶炉根据构造主要分为炉架、炉筒、副室、提拉头、埚升转系统、水冷系统、控制系统、氩气输送系统、真空管路系统。由于在单晶生产中对设备的整体运行状态要求很高，尤其对震动、水平、真空度方面都有极高的要求，这些因素将直接影响单晶的正常生长。因此在设备的安装调试中对厂房的基础防震措施、真空管道、进出水的配置都有非常具体的要求，以求达到符合单晶生长所需要的状态。;二.辅助配套系统;2.2 循环冷却水系统（见下图）;2.3 真空泵、付室泵、吸尘泵（见下图）;2.4 热场系统（见下图）;2.5 液氩储存灌（见下图）;2.6 软化水（R.O水）系统（见下图）;三.主付材料;3.1.2 头尾料（见下图）;3.1.3 埚底料（见下图）;3.1.4 复拉料（见下图）;3.1.5 边皮料（见下图）;3.1.6 废电路片（见下图） 3.1.7 太阳能电池废片（见下图） 3.1.8 集成电路废片（见下图）;3.2 辅助材料;3.2.2热场系统材料;3.2.2.2石墨软毡、硬毡（见下图）;3.2.2.3 固化毡（见下图）;3.2.2.4 碳箔（见下图）;3.2.2.5 钼丝（见下图）;3.2.3 高纯氩气（见下图）;3.2.4 籽晶（见下图）;3.2.5 掺杂剂;3.2.7 劳防用品（见下图）;3.2.8 无水乙醇（见下图）;3.2.9 无尘纸（见下图）;3.2.10 硝酸、氢氟酸;四.准备工作：;4.6 在投料前需对设备进行若干次水、 电 、 气 联 动 的 开 机试验，以检测整个系统的可靠性、稳定性、安全性、适用性。 4.7 在水、电、气联动获得成功后，应进行一次模拟拉晶试验，在不加料的情况下按照正式拉晶程序操作，以确认整 个控制系统和程序能满足拉晶需要。;五.拉晶操作:;5.1.1 清炉用的材料：如吸尘器刷头，帆布手套等都应检查是否沾有油污或其他不洁物。 5.1.2 所有石墨器件上的浮尘和氧化硅一定要吸除干净。 5.1.3 加热器与电极连接处的氧化硅一定要去除，以确保接触良好。 5.1.4 真空排气口和管道内的氧化物每次清炉时都应清除干净，以保证排气畅通。;5.1.5 上炉筒因口径小、高度高、清洁工作较为不便往往会造成疏忽，由于气体是从上到下流动的如果上炉筒内的氧化物未清除干净，拉晶时极易被氩气冲入坩埚内，如掉在液面上正在生长的单晶就会断棱。 5.1.6 照相机摄影口和取温孔的氧化物要及时清除以免影响获取直径信号和温度信号。 5.1.7 每次清炉时应仔细检查导流筒外、石墨坩埚外、连杆上面有无硅蒸汽沉淀留下的凸起物，如有须清除干净。;;→;5.2.1 在安装热场时须注意以下几个环节： 5.2.1.1 所有器件都应查验，如有下列问题的将不可使用。 5.2.1.2 已达到使用寿命的。 5.2.1.3 已有缺损的。 5.2.1.4 已有裂缝的（主要指：连杆、石墨坩埚、加热器、其它视情况而定）。 5.2.1.5 积有硅凸起物未予去除或去除不掉将影响拉晶的。;5.2.1.6在安装电极和加热器时接触部位需垫入碳箔片。 5.2.1.7 在安装电极和加热器时须确保电极、 炉体、加热器和护盘之间必须是绝缘的。 5.2.1.8 连杆安装后须确认无明显晃动。 5.2.1.9 连杆、坩埚、加热器、导流筒、保温罩等须确认在同心度上。 5.2.1.10 坩埚、加热器、导流筒的上沿口要保持在同一水平上。 5.2.1.11必须确保电极柱与电极之间、加热 器与电极柱之间的接触良好。;5.2.1.12 在安装热场时应将所有有止口的 地方都准确无误地安装到位。 5.2.1.13 保温罩装好后须检查炉筒上的取 温孔与保温罩上的取温孔是否对准。 5.2.1.14 石墨坩埚装好后需将埚位调到其上口与加热器上口处在同一水平，此时 的埚位称之为“零”位，同时需确认此 时的显示数据应在“0”位。;;5.