一种晶圆载具的搬送方法、系统、装置、设备及介质.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种晶圆载具的搬送方法、系统、装置、设备及介质.pdf

本发明实施例公开了一种晶圆载具的搬送方法、系统、装置、设备及介质，该方法应用于搬送装置，当晶圆盒被搬送至搬送装置的第一装载口时，搬送装置通过校正单元对该晶圆盒进行硅片溢出校正，然后通过机械臂在该搬送装置的第一装载口夹取该晶圆盒，将该晶圆盒旋转放入目标设备的第一装载口。当目标设备将晶圆盒中的晶圆全部取出时，搬送装置响应于第一搬送指令，通过该机械臂从该目标设备的第二装载口夹取空的该晶圆盒，然后将空的该晶圆盒旋转放入搬送装置的第二装载口。如此，可以通过搬送装置的自动执行实现对于晶圆载具的搬送，节约了人

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116666282 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310639564.9 (22)申请日 2023.05.31 (71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司地

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