一种数字微流控基板及数字微流控芯片.pdfVIP

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2023-09-01 发布于四川
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本实用新型实施例提供了一种数字微流控基板及数字微流控芯片，涉及微流控技术领域。本实用新型实施例通过在第一基板上设置驱动晶体管和驱动电极，且驱动晶体管的漏极和驱动电极同层设置且一体成型。在制作驱动晶体管的漏极时，可同时制作得到与漏极同层设置且一体成型的驱动电极，使得在制作数字微流控基板时，可减少了两次沉积、两次曝光和两次刻蚀工艺以及减少两张掩膜板的使用，使得数字微流控基板的制作工艺更为简单，制作成本大大降低；且无需形成过孔跳线，提高了驱动电极的平坦度，有利于液滴的驱动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210279192 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192