硅片生产培训.pptVIP

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LOGO 第一页,共二十页,2022年,8月28日 Contents 太阳能光伏行业简介 1 多晶硅片的定位 2 多晶硅片生产工艺流程 3 工艺图片流程 4 第二页,共二十页,2022年,8月28日 太阳能光伏行业简介 太阳能电池产业是近几年发展最快的产业之一,最近5年来以超过40%的速度高速增长。 在各种类型的太阳能电池中,晶体硅太阳能电池由于其转换效率高,技术成熟而继续保持领先地位,占据了90%以上的份额,预计今后十年内晶体硅仍将占主导地位。 太阳能电池产业的飞速发展,带动硅锭/硅片的需求也大增。随着市场需求的增长,涌现了很多硅片生产企业,特别是多晶硅硅锭的生产向大规模化发展,单厂生产能力已达到百兆瓦级。 多晶硅锭/片生产工艺成熟,生产设备主要从国外引进(美国GTSOLAR,德国ALD,瑞士HCT、MB等)。 第三页,共二十页,2022年,8月28日 太阳能光伏产业链图 156*156或125*125mm (厚度为180~220μm) 纯度为99.9999% 在太阳能光伏产业中,单/多晶硅片属于上游产品,其品质的情况直接影响到下游产品电池片、组件的品质和性能,可见硅片在整个太阳能光伏产业中的重要性之高及其需求量之大。 组件 电池片 单/多晶硅片 硅提纯 第四页,共二十页,2022年,8月28日 单/多晶硅片简介 单晶硅片 用单晶硅片生产的电池片具有电池转换效率高、稳定性好等特点,但是单晶成本较高、能耗大。 多晶硅片 用多晶硅片生产的电池片转换效率略低于单晶硅电池,但多晶硅片成本低,生产效率高。 从工业化发展来看,重心已由单晶向多晶方向发展。 太阳能硅片 第五页,共二十页,2022年,8月28日 多晶硅片生产工艺流程 定向结晶 多晶硅锭 开方 多晶硅料 去头尾 磨面 倒角 切片 硅片清洗 检测包装 第六页,共二十页,2022年,8月28日 多晶硅料 太阳能级多晶硅纯度为: 99.9999%(6N) 第七页,共二十页,2022年,8月28日 定向结晶 定向结晶:晶体生长方向垂直向上,是通过定向凝固(也称可控凝固、约束凝固)过程来实现的,即在结晶过程中,通过控制温度场的变化,形成单方向热流(生长方向与热流方向相反),并要求液固界面处的温度梯度大于0,横向则要求无温度梯度,从而形成定向生长的柱状晶。 热流方向 侧向无温度梯度,不散热 晶体生长方向 定向凝固柱状晶生长示意图 第八页,共二十页,2022年,8月28日 定向结晶 太阳能电池硅锭的定向结晶是一个硅的提纯过程,是基于杂质的分凝效应进行的。如下图所示,一杂质浓度为C0的成分,当温度下降至T*时,其固液界面处固相侧的杂质浓度为C*S。 第九页,共二十页,2022年,8月28日 从多晶硅到炉内结晶过程图示 第十页,共二十页,2022年,8月28日 多晶硅锭 多晶硅经过在铸锭炉内定向结晶,生长成为多晶硅锭。 规格为:840*840*250mm(长*宽*高) 第十一页,共二十页,2022年,8月28日 硅锭开方 开方:就是将840*840mm(长*宽)的硅锭切割成 156*156mm或者125*125mm (长*宽)的方棒。 原理:将待切的硅锭竖立并粘结在工作台的垫板上,工作台上方有一个线网框架;Φ250μm钢线从机床左侧绕线室引伸至线网框架上,来回顺序缠绕在四组滑轮和导轮之间,形成上下二个纵横线网;框架里安放多个砂嘴,提供切割用的砂浆;滑轮带动线网,将砂浆带入晶棒,并紧压在材料表面上来回移动,形成研磨式切割,同时框架将线网缓慢地向下推过晶棒,完成开方/破锭工作。 第十二页,共二十页,2022年,8月28日 去头尾、磨面、倒角 根据工艺要求,将多晶硅方棒去头尾、磨面、倒角 去头尾:将方棒的头尾部分切割掉。 磨面:用研磨机将方棒的四个侧面抛光。 倒角:用倒角机将侧面抛光后的方棒的四个侧楞倒成45度角。 倒角示意图 处理后效果图 第十三页,共二十页,2022年,8月28日 切片 切片:就是将长*宽为156*156mm或者125*125mm的方棒切割成厚度为180μm~220μm的硅片. 原理:通过一根钢线(典型直径 160μm)来回顺序缠绕 2 或 4 个导轮而形成线网,导轮上刻有精密线槽,槽距决定切片的厚度。晶棒两侧的砂嘴将砂浆喷在线网上,导轮转动线网将砂浆带进晶棒里,钢线将研磨砂紧压在晶体表面上并往前移动,进行研磨式切割,晶棒

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