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提供剥离装置，能够容易地以剥离层为起点将晶片从锭剥离，并且能够将剥离屑从所剥离的晶片的剥离面去除。剥离装置(2)至少包含：保持单元(4)，其对锭(50)进行保持；超声波单元(6)，其对保持单元(4)所保持的锭(50)赋予超声波而对剥离层(74)进行刺激；以及剥离单元(10)，其具有对要生成的晶片进行吸引保持的保持部(36)和从保持部(36)突出而围绕着要生成的晶片的外周的环状壁(38)。在环状壁(38)的内侧形成有多个喷射口(38a)，这些喷射口(38a)朝向从锭(50)剥离出的晶片(76)的剥
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110010519 A
(43)申请公布日
2019.07.12
(21)申请号 20181
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