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光子晶体集成光电子器件 :文章简明引见了应用光子晶体完成微纳尺度上光调控的物理原理和任务机制，重点讨论了如何应用光子晶体的缺陷态完成微纳尺度的各种集成光电子器件，并结合文章作者所在研讨组的研讨任务阅历，复杂回忆了各种类型的集成光电子器件的任务原理？物理完成和光学特性. :光子晶体，光电子器件，耦合器，光学共振腔，波导PhotoniccrystalintegratedopticaldevicesLIUYa-ZhaoLIZhi-Yuan(LaboratoryofOpticalPhysics,InstituteofPhysics,ChineseAcademyofSciences,Beijing100190,China)AbstractWediscusshowphotoniccrystalscontrollightpropertiessuchasthegeneration,propagation,modulationandconversionoflightonthenanoscale.Theunderlyingphysicalprinciplesandmechanismwillbeaddressed.Discussionswillfocusontheconstructionofvariousnanoscaleintegratedopticalelementsanddevices.Weemployseveraltypicalexamplestobrieflydescribedifferentaspectsofthesedevices:howtheywork,howtofabricatethem,andhowtocharacterizetheiropticalproperties. Keywordsphotoniccrystals,opticaldevices,coupler,resonator,waveguide1引言自1987年Yablonovitch和John区分独立提出光子晶体的概念以来，光子晶体的实际和实验研讨以及相关运用失掉了迅速的开展.迄今为止，已有多种基于光子晶体的全新光子学器件被相继提出，并且随着半导体微加工技术的提高和开展,人们对这些器件展开了深化系统的实验研讨.这些光子晶体光学器件使信息处置技术的全光子化〃和光子技术的微型化〃与集成化〃成为能够.复杂地说，光子晶体是折射率或介电常数具有周期性调制散布的一种新型人工光学或电磁波资料，其周期为波长量级.虽然自然界也存在自然构成的光子晶体，比如石英资料的蛋白石光子晶体(opal),但是具有实践运用价值的光子晶体都来源于人工设计和制造，通常应用当今先进的半导体微加工技术，比如电子束刻蚀技术和聚焦离子束刻蚀技术，其精度可优于5nm，基天分够满足光子晶体集成光学器件的准确制造和加工要求,使得这些器件的光学特性基本符算计算机设计的预期结果，从而完成实际和实验的良好互动. 与传统半导体相似，光在光子晶体中传达时，遭到周期点阵的布拉格散射而发生光子能带和光子带隙.应用光子带隙的存在可以完成对光传达行为的强有力控制.这主要经过在光子晶体中引入各种缺陷而完成光子的局域化控制.缺陷有两种基本方式：线缺陷和点缺陷.线缺陷构成波导，它可以引导光子沿某一途径传输.由于光子带隙的存在，光只能沿着光子晶体波导延伸方向传达，而不能泄露到周围的光子晶体资料里.2021年，美国麻省理工学院的J.D.Joannopoulos小组在物理学威望杂志PhysicalReviewLetters上宣布了一篇实际研讨任务[1],指出光经过90°的光子晶体波导转弯角时，在某些频率窗口可以取得接近100%的传输效率，实际计算的结果如图1所示.随后该小组与美国Sandia国度实验室的Shawn-YuLin等协作，展开了微波波段的实验研讨任务，证明了实际预言的结果[2].该实验结果如图2所示.在这一点上，光子晶体波导具有传统介质波导（如光纤）无与伦比的优势.由于传统介质波导经过光在芯层和包层之间的分界面处的全反射效应来完成传输，当光遇到大的转弯角（比如大于30°）时，全反射条件不再满足，相当比例的光能量将从转弯角处泄露到周围空间中去.上述的研讨任务说明，光子晶体波导可以在微纳尺度上完成对光的高效率偏转.遭到该研讨效果的鼓舞,许许多多运用于不同光频段，着眼于更低损耗？更宽传达窗口，以及一些具有特殊用途（如光速变慢）的光子晶体直线波导失掉了普遍的研讨. 光子晶体中的另一种缺陷方式——点缺陷通常用来构成光子晶体结构中的微腔，在微腔中只要频率与之共振的光子才干存在，构成一个或多个共振形式，因此微腔具有共振选频的作用.波导与微腔配合运用，构成了集成光学基本元件.2021年，美国麻省理工学院的S.Fan等自创形式耦合实际，提出了由光子晶体波