一种防止硅片粘连的硅片承载器.pdfVIP

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2023-09-14 发布于四川
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一种防止硅片粘连的硅片承载器.pdf

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本实用新型涉及硅片承载技术领域，公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器，包括承载机构，所述承载机构设置有多组，且承载机构包括海绵块和承载槽，所述固定座顶部侧壁处开设有等距分布的第一放置槽，所述调节座顶部侧壁处开设有等距分布的第二放置槽，所述第一放置槽与第二放置槽相互对称。本实用新型可以对调节座和固定座之间的距离进行调节，便于在固定座和调节座上放置不同长度的硅片，当固定座和调节座的距离调节完成之后，将硅片经过第一放置槽和第二放置槽的作用放置在海绵块上开设的承载槽内，由于海绵块本身具有弹性，因此可以在承

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219668831 U (45)授权公告日 2023.09.12 (21)申请号 202321010496.1 (22)申请日 2023.04.28 (73)专利权人南京京胜科技有限公司地址 2