一种晶圆对准装置及镜头误差校准方法.pdfVIP

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2023-09-16 发布于北京
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一种晶圆对准装置及镜头误差校准方法.pdf

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本发明提供一种晶圆对准装置及镜头误差校准方法，涉及半导体加工技术领域。装置包括：晶圆运动组件，包括上晶圆运动组件和下晶圆运动组件，其上分别开设用于承载第一晶圆的上晶圆载台和承载第二晶圆的下晶圆载台；视觉运动组件，包括左侧镜头组件和右侧镜头组件，两侧的镜头组件围绕形成对准区域；且开口侧的上下两个端部分别设置光学镜头，用于拍摄测量第一晶圆和第二晶圆上的标记位置；标记板，固定在下晶圆运动组件上，用于通过光学镜头拍摄测量标记板上的校准标记，以对光学镜头拍摄测量时产生的误差进行校准，实现第一晶圆和第二晶圆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116759360 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202311041048.2 (22)申请日 2023.08.18 (71)申请人苏州芯慧联半导体科技有限公司地址

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