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论硅片技术的发展--从CCZ说起(第四篇)
因为篇幅较长,为了方便读者阅读,故将五位主持人(张治雨 先生、郭宽新 先生、储晞 先生、詹文平 先生、石坚 先生)的论点依次发表,本文为完结篇。
詹文平 先生观点。
下面,我给大家介绍一下CCZ整个工艺流程,包含引晶、放晶、等经的过程(等经的过程是边化料边复投的工艺),他和RCZ的区别就是RCZ是等经收完尾后,再复投化料的过程。
第一,就是关于高效硅片的技术,如何提高效率,一般有PERC和HIT技术两种,目前单晶PERC,效率大概21.67%左右,第二就是HIT电池技术,例如SUNPOWER效率到了24.5%左右。
第二,就是关于设备智能化,单晶炉一键设定,不需要人为过多的操作,现在一人看24台,未来可能是一人看48台甚至更多。单晶只是靠人来突破,容错率太高了,所以需要设备的不断更新。
第三,就是关于多晶硅的破碎工艺,目前制约CCZ或者RCZ的发展的首要因素,先就是多晶硅破碎技术还没有真正的掌握。
现阶段大多主要还是采用人工破碎,后续发展方向,一个是机器破碎,一个高压破碎,第三个就是高温自动破碎。
多晶硅破碎工艺的发展,未来可以直接带动拉晶工艺的发展,因为拉晶对碎料的要求越来越高。
第四,就是移动式自动复投技术,此技术的掌握,可以直接从RCZ过渡到CCZ,复投的时间,也会减少很多,工时对比差距,也会越来越小,这些都是可以在现有设备的基础上发展的.
第五,降低生产过程中的能耗,优化热场,采用好的保温材料,降低拉晶过程中的能耗。
目前,做热场优化的公司,其实不多,比如说隆基,只能自己投入大量研发来进行热场的优化设计。
我的观点是,单多晶,应该是共存的,单晶对于硅料要求越来越高,但是其产生的尾料等可以供给多晶,两者结合,相得益彰,生产成本会越低。?
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群友提问:
1、液位补给如何精准控制?长晶液面从中心到边缘的温度趋势如何?外层坩埚既然可以化料,那么温度高过内坩埚温度,外层对内层长晶液面温度影响怎么解决?内外层坩埚边加料边拉,这个MEMC上世纪70年代就做过,但是没有推下去就是因为温度原因。
一直控制同一液面位置,保持一个均衡拉速,那么温场氛围对加料过程的外部因素影响太苛刻了。
回答:中心温度低,边缘温度高,外面最接近于加热器边缘。温度梯度没有你说的 那么大。
所以只能加颗粒料,能做到熔质和熔液平衡。
2、石墨热场是很重要的辅件,可能RCZ20炉就要换热场,但是CCZ对石墨热场是否有不同要求,对于石墨热场的消耗量是否有区别?
回答:对消耗量没有区别。跟热场尺寸有关,热场越大,寿命越低。
3、多晶一炉多锭,上海普罗和福能都有。
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