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NiGe(Si)薄膜的热稳定性及其与Ge(Si)接触电学特性研究的中期报告
该研究的中期报告主要介绍了对NiGe(Si)薄膜的热稳定性及其与Ge(Si)接触电学特性的研究进展。该研究的目的是探究NiGe(Si)薄膜作为接触材料的潜力。
首先,在该研究中,研究人员利用分子束外延技术在Ge基底上制备了NiGe(Si)薄膜,并使用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对其进行了表征。结果表明,制备出的NiGe(Si)薄膜具有良好的晶体结构和平整度。
接着,研究人员对NiGe(Si)薄膜进行了热处理,并利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪观察了其热稳定性。结果显示,在高温下,NiGe(Si)薄膜逐渐失去结晶性,但其晶体结构仍然可以保持一定的完整性。
最后,研究人员还对NiGe(Si)/Ge(Si)界面的接触电学性质进行了研究。他们在铂电极和NiGe(Si)/Ge(Si)界面之间测量了电流-电压曲线,并分析了其电学特性。结果显示,NiGe(Si)薄膜的电学性质与Ge(Si)基底非常相似,具有良好的电学特性,表明NiGe(Si)薄膜具有很好的应用潜力。
综上所述,该研究表明制备出的NiGe(Si)薄膜具有较好的热稳定性和电学特性,可以作为接触材料应用于Ge(Si)器件中。然而,还需要进一步研究来确定其在实际应用中的性能和稳定性。
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