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适合声表面波谐振器的ZnO薄膜研究的中期报告 本研究旨在探究ZnO薄膜在应用声表面波谐振器（SAW）方面的潜力。通过对已有文献的综述与实验室内制备的ZnO薄膜性能测试，我们得出以下结论： 1. ZnO薄膜可以制备出具有较高晶体质量的结晶态。通过采用化学气相沉积法（CVD）制备ZnO薄膜，经过调节沉积时间和温度等参数，可以获得拥有优秀品质并且表面平整、无明显缺陷的薄膜。这样的ZnO薄膜具有良好的声学传感器效应，因为声波可以在其中得到良好的传播。 2. 在SAW应用中，ZnO薄膜具有许多优越的特性。通过采用Al/ZnO/Al层状结构的SAW器件测试，我们发现，ZnO薄膜可以作为一种优秀的压电材料，它能够提供很高的耦合系数和品质因子。ZnO薄膜也具有较高的电容值，这可以帮助提高SAW器件的灵敏度。 3. 目前，ZnO薄膜在SAW应用中还有一些可改进的方面。例如，ZnO薄膜在压电材料中的稳定性不够高，它容易受到温度、湿度等环境因素的影响而导致性能下降。因此，我们需要更深入地了解ZnO薄膜的物理机制，并探索优化其制备方法及改进其应用性能的方式。 综上所述，我们认为，ZnO薄膜具有广阔的应用前景，特别是在SAW应用领域。未来，我们将会继续深入探究该材料的性能及应用方式，以期为实际生产中的应用提供更有价值的信息。