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本实用新型公开了一种扩散石英舟,其包括支撑件、卡接组件和承接件,支撑件的个数为至少两个,至少两个支撑件间隔设置,支撑件的长度方向与扩散气流的流向平行,卡接组件为多个,多个卡接组件沿支撑件的长度方向间隔设置,每个卡接组件包括两个间隔设置的卡接件,每个卡接件的两端分别连接在相邻设置的两个支撑件上,每个卡接件上均设有多个卡接槽,两个卡接件上的卡接槽一一对应设置。承接件为多个,多个承接件与多个卡接组件一一对应设置且位于卡接组件的下部,每个承接件位于同一个卡接组件内的两个卡接件之间,承接件上设有多个承接槽
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210607207 U
(45)授权公告日
2020.05.22
(21)申请号 20192
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