电容传感器及其应用演示文稿.pptVIP

图5-9 差动平板式电容传感器结构图 本文档共57页；当前第29页；编辑于星期一\18点9分 在Δd/d01时, 按级数展开得 (5-21) (5-22) 电容值总的变化量为 (5-23) 本文档共57页；当前第30页；编辑于星期一\18点9分 电容值相对变化量为 (5-24) 略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系： (5-25) 如果只考虑式（5-24）中的线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 (5-26) 本文档共57页；当前第31页；编辑于星期一\18点9分 差动的好处 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 本文档共57页；当前第32页；编辑于星期一\18点9分 5.４ 电容式传感器的测量电路 5.4.1 调频电路 　　把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 　　可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。如图5-11所示。 图中调频振荡器的振荡频率为 (5-29) 本文档共57页；当前第33页；编辑于星期一\18点9分 式中： C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+C