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本发明涉及测量设备技术领域,具体涉及一种体积型痕量仪校准装置及其校准方法,包括装置本体和控制系统,装置本体内设置有校准腔,校准腔内通过支撑架安装有轨道轴,轨道轴上滑动安装有超微量移液器,轨道轴的下方依次安装有质量比较器、介质瓶、废液瓶和被测痕量仪;超微量移液器、质量比较器、被测痕量仪均与控制系统通讯相连。解决现有技术中,由于体积型痕量仪精度过高,传统体积校准装置无法对其校准的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116878620 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202311151215.9
(22)申请日 2023.09.07
(71)申请人 中国测试技术研究院
地址 610
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