高效截断碳板的截断方法.pdfVIP

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本发明提供一种高效截断碳板的截断方法,涉及碳板截断技术领域,将圆柱形工件与树脂板进行粘接,组成承载工装;将碳板可拆卸固定在树脂板上,组成待切割工件,将待切割工件放置在截断机的V形槽上,且圆柱形工件与截断机的V形槽接触,将截断机压紧装置压合在碳板的上表面;将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离,打开切削水,驱动主轴匀速旋转,再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板;碳板切割完成,关闭截断机;通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断,提高截断效率,减少碳板崩边、破裂的概率,且截断机的切割头的头升降

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116872365 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202311083883.2 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人 宁夏中欣晶圆半导

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