轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法.pdf

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本发明公开了轴向多阴极真空镀膜设备及复合梯度镀膜的方法，在多阴极靶头上设有一个中心电极和若干个侧边电极，中心电极位于多阴极靶头的中心处，侧边电极围绕着中心电极设置；中心电极连接着中心靶材丝，侧边电极连接着侧边靶材丝，中心靶材丝沿着管道中心线设置，侧边靶材围绕着中心靶材螺旋设置；中心靶材和侧边靶材由若干带孔的陶瓷组件连接；中心电极与第一溅射电源连接，侧边电极与第二溅射电源连接。不仅解决了部分合金靶材丝无法加工而使用的问题，同时也能在镀膜的过程中保证薄膜的成分、膜厚和结构的横向、轴向均匀性，且调节薄

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116875939 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310863652.7 (22)申请日 2023.07.14 (71)申请人武汉大学地址 430072