集成光波导SPR传感器的实验制作与工艺研究的中期报告.docxVIP

集成光波导SPR传感器的实验制作与工艺研究的中期报告 中期报告 一、研究背景 随着生物医学领域的发展和生物检测技术的不断壮大，生物分子和生物细胞的检测成为了目前研究的热点之一。传统的检测方法如ELISA、PCR、Western Blot等存在检测时间长、操作复杂、成本高等问题，而表面等离子共振（SPR）技术由于具有灵敏度高、实时性强、无需标记和无需样品处理等优点，已经成为了生物检测领域中比较优秀的技术之一。同时，随着集成光波导技术的发展，将SPR技术与光波导进行集成可以提高SPR技术的灵敏度和稳定性，适用于小样品体积的检测，并且光波导SPR传感器具有成本低、体积小等优点。 二、研究目的 本研究旨在实现集成光波导SPR传感器的制作，研究其工艺方法，并在不同浓度的靶分子标准溶液中进行样品检测，分析其灵敏度和重复性，为后续生物检测等应用提供技术支持。 三、研究内容 （一）实验制作过程 1. 基底制备：采用熔融二氧化硅法，在石英片上制备2μm厚的SiO2层作为基底，并在其上制备2μm厚的Si3N4层作为波导层。 2. 刻蚀工艺：使用光刻工艺对波导结构进行图案转移，其中在波导区域上刻蚀O2定位后，再使用CF4等物质对波导区域进行刻蚀，此过程中需要进行电镀、清洗、蚀刻等多个步骤，最终得到波导结构。 3. 金属化工艺：在波导区域上采用电子束蒸发法进行金属化，将Cr、Au和Ti等物质沉积在波导区域上，以增加SPR信号强度。 4. 测试和封装：使用SPR测试系统对光波导SPR传感器进行测试，并将其进行封装。 （二）实验结果 通过测试发现，实验制作的光波导SPR传感器可用于实现样品检测。在10^-6 M的靶标分子标准溶液中，SPR信号强度较为明显，并且呈现出较好的灵敏度和良好的重复性。在后续的工作中，还将进一步优化样品处理和实验参数，以提高传感器的灵敏度和稳定性。 四、下一步工作 （一）继续优化光波导SPR传感器的制作工艺，同时增加波导长度、优化SPR信号的增强剂等措施，提高其灵敏度和稳定性。 （二）进一步实验测试，包括在不同浓度的靶分子标准溶液中进行测试，并与其他生物检测技术进行对比分析。 （三）开发基于光波导SPR传感器的生物检测系统，通过将其与微流控技术、图像处理技术等结合，实现多参数的快速检测和高灵敏度的生物检测。