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本发明实施例涉及离子束发射技术领域，公开了一种离子束发射装置及其离子束发射器。本发明中离子束发射装置包括格栅结构和壳体。格栅结构从高到低依次包括阻隔栅、加速栅及屏栅，阻隔栅上设置有第一中间通孔、与第一中间通孔的中轴线形成倾角的多个第一环绕通孔；加速栅上与第一中间通孔对应位置设有第二中间通孔、与多个第一环绕通孔对应位置设有多个第二环绕通孔。屏栅上与第一中间通孔对应位置设有第三中间通孔、与多个第一环绕通孔对应位置设有多个第三环绕通孔。倾斜的离子束经过格栅结构上倾斜设置的各通孔时，能顺利通过倾斜的通孔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116994933 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310671719.7
(22)申请日 2023.06.07
(71)申请人 首航半导体科技（苏州）有限公司
地
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