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本发明公开了一种双法珀结构的干涉式光纤盐度传感芯片及制作方法，包括三层结构，分别是底层硅(1)、开放式玻璃层(2)和顶层硅(3)；其中：所述底硅层(1)为温度传感法珀腔，于所述开放式玻璃层(2)内部轴向设置的所述中心通孔(4)和径向设置的所述通槽(5)所构成的微结构，此微结构为盐度传感法珀腔；所述底层硅(1)的外表面、内表面和顶层硅(2)的内表面分别为三个反射面，在三个反射面上发生三次反射后形成法布里‑珀罗干涉。本发明实现了基于MEMS加工工艺批量生产、结构稳定、高灵敏度、高分辨率、且能同时测量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116990262 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310807862.4
(22)申请日 2023.07.04
(71)申请人 天津大学
地址 300072
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