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本实用新型公开了一种单晶炉腔体排气装置，涉及单晶炉领域，包括炉体，所述炉体的顶侧装配有炉道；所述炉体的底侧开设有位于其与炉盘之间的侧槽，所述炉体内侧的底侧边缘装配有弧座，所述弧座上开设有十五组间距相同的排气孔，所述炉体的外侧装配有罩座，且罩座的外壁上开设有两组位置相对的散气槽；该单晶炉腔体排气装置，通过炉体底侧各组件的设置，能够通过弧座上各组排气孔的设置来增加排放量，同时排出的热气会暂存在罩座与炉体底侧的暂存槽中，由内散热片、罩座及外散热片对其进行散热，保证散热效果，同时气体会沿着两组散气槽被排
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219972545 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202320414614.9
(22)申请日 2023.03.07
(73)专利权人 晶创铭盛电子科技（香河）有限公
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