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本实用新型提供了一种可自清洁的过滤装置，该过滤装置包括外壳件、过滤件和刮动件；所述外壳件具有上法兰、下法兰和内部腔室，所述下法兰设有连通至内部腔室的进气口，所述上法兰外接一排气法兰，所述排气法兰设有连通至内部腔室的排气通道；所述过滤件安装在外壳件内，所述过滤件接合在内部腔室与排气通道之间，用于阻隔沿进气口的输气路径所输入镀膜气体中掺杂的粉末；所述刮动件可活动地配置在外壳件内，所述刮动件被配置成适于将附着在过滤件外壁以及腔室内壁的粉末进行刮除，从而实现对过滤装置内所吸附粉末的自清洁，且避免过滤的材
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219964299 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202321293703.9
(22)申请日 2023.05.25
(73)专利权人 厦门韫茂科技有限公司
地址 3
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