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本发明涉及瑕疵检测，具体涉及一种基于光电检测的瑕疵检测方法，获取待测元件图像，对待测元件图像进行瑕疵定位，并获取相应的原始模拟信号；对单个瑕疵的原始模拟信号的数字采样值进行排列，并对排列后的数字采样值进行上采样；基于原始模拟信号设置离散滑动窗口，利用离散滑动窗口对上采样的数字采样值进行子像素抽取，得到子像素抽取子集；计算子像素抽取子集对应的瑕疵等级；完成所有可能的子像素抽取方案，并将所有子像素抽取子集对应的最大瑕疵等级作为该瑕疵的瑕疵定级；遍历待测元件图像中的所有瑕疵，并获得相应的瑕疵定级位置分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117036274 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310992778.4
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司
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