超结功率器件及其制造方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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超结功率器件及其制造方法.pdf

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本申请实施例提供一种超结功率器件及其制造方法，其中，超结功率器件包括：元胞区和终端结构；所述终端结构包括：基底；在基底之上的外延层；外延层内设有至少两个并列排布的第一导电柱、第一场限环及体内场板；第一场限环与第一导电柱一一对应且设置于第一导电柱的上方，第一场限环与第一导电柱之间通过外延层隔开；体内场板贯穿于第一场限环及第一导电柱内部；沿着远离元胞区的方向，第一导电柱的长度逐渐减小；第一导电柱与外延层的导电类型相反。本申请实施例提供的超结功率器件及其制造方法能够更好地调节终端区域的电荷平衡，有效避

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038706 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311167442.0 (22)申请日 2023.09.11 (71)申请人苏州华太电子技术股份有限公司地址