一种用于检测激光隐形切割改性层形位精度的装置.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种用于检测激光隐形切割改性层形位精度的装置.pdf

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本发明公开了一种用于检测激光隐形切割技术改性层形位精度的装置，包括激光光路盒、计算机控制系统和微纳移动平台。所述激光光路盒包括激光器、偏振片、偏振分光镜、聚焦物镜、格兰镜、聚焦透镜、针孔、光电检测器和密封盒。所述计算机控制系统包括数据采集卡、上位机和运动控制器。检测激光由激光光路盒中激光器发出，经偏振片、聚焦物镜聚焦在激光切样品内部，对样品改性层进行检测。计算机控制系统接受检测信号并进行信号处理，对激光隐形切割样品改性层进行三维重构。本发明能实现对激光隐形切割技术改性层形位的在线高精度检测，可安

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117030605 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310903095.7 (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人大连理工大学地址 116024