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本申请适用于电子光学实验技术领域，具体提供了一种电子光学测试平台装置，包括电子枪、真空腔室、衬管、载物盘；电子枪发生电子束；真空腔室处设置有物镜、电子束成像系统、电子束尺寸检测装置；衬管一端连接电子枪，衬管用于电子束通过，衬管另一端与真空腔室相连通，电子束成像系统利用二次电子和背散射电子信号以形成图像，光刻胶经过电子束的作用形成刻蚀痕迹，通过测量刻蚀痕迹获取电子束的尺寸；载物盘至少为两个，载物盘沿着衬管的长度方向移动，载物盘用于承载电子光学元件。旨在解决现有技术中存在的电子光学元件只能独立测试，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115616017 A
(43)申请公布日 2023.01.17
(21)申请号 202211215512.0
(22)申请日 2022.09.30
(71)申请人 南方科技大学
地址 518000
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