一种非理想椭偏系统校准方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种非理想椭偏系统校准方法.pdf

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本发明提供一种非理想椭偏系统校准方法，包括：获取标准样件在测量系统的多个连续积分采集的光强变化信息，归一化后得到标准样件的测量归一化光强信息；基于测量归一化光强信息和理论归一化光强信息，拟合迭代出测量系统的系统参数，系统参数中考虑了光谱仪采集间隔时间；获取待测样件的光强变化信息，归一化后得到待测样件的测量归一化光强信息；根据待测样件的测量归一化光强信息和测量系统的系统参数，计算待测样件的穆勒矩阵。本发明通过校准光谱仪采集信号间隔参数，并将采集信号间隔参数带入光学测量，从而提高光学系统的校准与测量

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117030624 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310907919.8 (22)申请日 2023.07.22 (71)申请人武汉颐光科技有限