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本发明提供了一种表面活化液及其键合应用，属于表面活化液及键合技术领域。本发明提供了一种用于砷化镓衬底键合蓝宝石衬底的表面活化液，其配方为：KOH、甘油、去离子水；其中，所述KOH的浓度为3.2‑4.0mol/L；活化液配制时，采用KOH溶液或晶体、以甘油和去离子水的混合溶液作为稀释液进行配制，甘油与去离子水的体积比为1:(2.5‑5)。本发明制备的表面活化液用于砷化镓衬底键合蓝宝石衬底，其不会腐蚀砷化镓衬底，反应过程不放热，所以不会出现因腐蚀导致砷化镓衬底不平整的问题，减少了键合时受压不均匀的缺
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117025103 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310926632.X
(22)申请日 2023.07.26
(71)申请人 南昌凯迅光电股份有限公司
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