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本发明公开了一种快速高效型晶圆清洗装置，涉及到晶圆清洗技术领域，包括清洗桶，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，所述动力缸的输出端贯彻所述安装架与调速电机固定连接，所述调速电机的输出轴与安装柱的上端固定连接，所述安装柱上设有承载晶圆的承载单元。本发明结构合理，控制调速电机进行低速转动，有利于提高清洗液对晶圆表面杂质溶解效率同时通过水流冲刷的作用便于杂质的脱落，同时调速电机正反交替旋转，使得液体通过惯性的作用与晶圆的表面形成冲击，同时也使得因惯性运动的气泡集中与晶圆受冲击
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117038506 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310951607.7
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 安徽富乐德长江半导体材料股份有
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