一种集成三维模斑转换器和偏置电路的光电探测器.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种集成三维模斑转换器和偏置电路的光电探测器.pdf

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本发明属于光电探测器领域，提供了一种集成三维模斑转换器和偏置电路的光电探测器，包括基板，沿基板水平方向上依次设置有三维模斑转换器、光波导和光电探测器有源区，三维模斑转换器和光电探测器有源区分别设置在光波导两端；本发明通过将三维模斑转换器和偏置电路的集成在光电探测器上，并采用倐逝耦合波导型结构，光电探测器有源区均匀分布在波导上面，当光电探测器吸收到的光子转换成电子后，会均匀的传导到共面电极上，该结构不仅可以提高响应度，而且有利于提升带宽，解决了现有的面入射探测器结构的响应度和带宽相互制约的矛盾。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117031622 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311157601.9 (22)申请日 2023.09.08 (71)申请人雄安创新研究院