芯片定位方法和芯片转移方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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芯片定位方法和芯片转移方法.pdf

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本申请涉及一种芯片定位方法及芯片转移方法，芯片定位方法包括：获取晶圆的多个组成图像，组成图像具有多个芯片图像，不同组成图像为晶圆的不同组成部分的图像，晶圆具有重叠区域，重叠区域内的芯片会被拍摄在至少两张组成图像中；基于第一坐标系，获取各组成图像在晶圆上的第一坐标；基于第二坐标系，获取芯片图像在组成图像上的第二坐标；根据第一坐标以及第二坐标，确定每一芯片图像在晶圆上的芯片坐标；对于位于非重叠区域内的芯片，将芯片坐标确定为芯片的转移坐标；对于位于重叠区域内的芯片，根据至少两个间距小于第一预设值的芯片

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038554 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311303413.2 (22)申请日 2023.10.10 (71)申请人迈为技术（珠海