一种超声波换能器输出功率的控制方法、系统及设备.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种超声波换能器输出功率的控制方法、系统及设备.pdf

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本实施例公开了一种超声波换能器输出功率的控制方法、系统及设备，超声波发生器输出预设频率的电压信号至超声波换能器，同时接收超声波换能器的反馈电流信号，计算输出的电压信号与反馈的电流信号之间的相位差，以及根据所述相位差对输出电压信号进行调节，控制所述超声波换能器输出的功率为指定极限值。本实施例提供的方法在现有技术中的PID算法基础上，提出了比例系数可变的调节方式，使得基于不同相位差使用不同的比例系统计算得到输出电压值，利用计算得到的输出电压值调节输出电压，以使得超声波换能器输出功率最大，从而提高了超

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117032383 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310847122.3 (22)申请日 2023.07.11 (71)申请人凌波微步半导体设备（常熟）有限公