一种均匀硼掺杂金刚石单晶的制备方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种均匀硼掺杂金刚石单晶的制备方法.pdf

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本发明的一种均匀硼掺杂金刚石单晶的制备方法，利用真空气化的方法，可以实现金刚石单晶中硼元素的掺杂，生成的金刚石单晶通过二次离子质谱法(SIMS)测试确定其中的掺杂硼元素分布均匀，通过拉曼光谱检测确定其内部不产生石墨或无定形碳等其它杂相，结晶度高。通过不断调高掺杂剂硼在原料中的占比，得到金刚石单晶中的掺杂硼元素的浓度也不断提高，说明掺杂浓度是可控的，整理制备方法过程简单，对设备和过程参数没有特殊的要求，依据现有设备即可完成，生产成本低。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117026372 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310994322.1 (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人郑州大学地址 450000