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本发明公开了一种声表面波谐振器,属于声表面波器件技术领域,其包括压电基底,压电基底的一侧表面设置有叉指换能器,所述叉指换能器包括相对间隔设置的第一汇流条和第二汇流条;第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极;压电基底上位于叉指换能器的两侧均设置有至少一个反射凹槽,该反射凹槽与叉指换能器处于压电基底的同一侧表面,该反射凹槽由第一汇流条延伸向第二汇流条。该谐振器利用反射凹槽替代了反射栅,不但减少了谐振器的占用面积,而且声波能量能够全部反射,减少损耗。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117040470 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310907028.2
(22)申请日 2023.07.24
(71)申请人 苏州声芯电子科技
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