缺陷检测方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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本发明涉及人工智能，公开了一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，该方法通过算法模型对无缺陷图进行多级卷积操作，获得对应的n层第一特征图，n为大于1的整数；对待检测图进行多级卷积操作，获得对应的n层第二特征图；将各层的所述第一特征图与所述第二特征图作差，获得各层的残差；对各层的所述残差进行上采样，获得各层对应的采样结果；将各层的所述残差叠加上所述采样结果，获得残差解码图；采用归一化指数函数对所述残差解码图进行归一化处理，获得所述待检测图的缺陷残差图，所述算法模型训练完成后，可达到兼容不同类型的芯

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117036349 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311288856.9 (22)申请日 2023.10.08 (71)申请人武汉罗博半导体科技有限公司地址