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本实用新型提供了一种伯努利吸臂装置，包括：支撑杆和固定设置在所述支撑杆上的吸臂，所述吸臂中空设置且所述吸臂上设置有若干吸盘，所述吸臂的内腔与所述吸盘连通，所述吸臂内通过高速射流以产生负压，以使所述吸盘吸住硅片。本实用新型的有益效果是：通过在矩形的吸臂上设置小尺寸的吸盘，使吸盘可以吸取小尺寸硅片和半片尺寸的硅片；通过设置缓冲垫，以保护吸取的硅片，避免在吸取时对硅片造成污染、划伤和损伤。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220011306 U
(45)授权公告日 2023.11.14
(21)申请号 202321354218.8
(22)申请日 2023.05.31
(73)专利权人 常州捷佳创精密机械有限公司
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