真空泵管道漏气的判断及处理措施.docxVIP

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真空泵管道漏气的判断及处理措施 前言 真空泵是工业生产中必不可少的设备之一,其作用是将一个封闭空间内气体排出,使得内部成为真空状况。然而,在使用真空泵时,若其管道发生漏气,会导致工作效率下降,还可能对环境产生危害,因此判断和解决真空泵管道漏气问题非常重要。 判断漏气 观察漏气 判断真空泵管道是否有漏气最简单的方法就是通过观察外部产生气泡来判定是否漏气。当然在高纯度、离子、分子、半导体等高精度工业上,简单的泡泡法难以应用,需要检测器进行检测。 使用气检仪 气检仪是一种常用的漏气检测仪器,其原理是利用可燃气体(如氢气)与空气混合成爆炸性气体后,点燃发生反应,并在反应中生成电离现象并产生电信号,气检

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