一种硅片清洗用烘干组件.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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一种硅片清洗用烘干组件.pdf

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本实用新型公开了一种硅片清洗用烘干组件，包括硅片清洗设备主体，所述硅片清洗设备主体内设置有风干组件和转动轴，所述转动轴上套接有烘干清洗装置，所述烘干清洗装置包括清洗固定装置和清洗组件，所述清洗固定装置包括一对半孤形固定筒，一对所述半孤形固定筒均套接在转动轴的一对相对端面，所述清洗组件包括多个清洗棉，多个所述清洗棉均均匀分布在一对半孤形固定筒上，所述转动轴的一对相对端面上均固定连接有第一固定耳，一对所述半孤形固定筒均与转动轴相匹配。本实用新型实现无需将擦洗组件整体从硅片清洗设备上侧拆卸下来，只需要

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220021056 U (45)授权公告日 2023.11.14 (21)申请号 202321324516.2 (22)申请日 2023.05.29 (73)专利权人中润新能源（徐州）有限公司地址