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感应耦合等离子体放电特性三维模拟的中期报告 摘要： 本模拟研究了感应耦合等离子体放电的特性，采用了三维有限元方法建立了数值模型，并进行了初步的计算和分析。通过结果分析，得出了以下结论：感应耦合等离子体放电的特点是空间电缆耦合引起的放电峰值与时间的演化关系比较复杂，这与电缆导线的结构特性以及耦合区中电子的空间分布有关。峰值随着时间的增加可呈现出逐渐增大、达到顶峰、逐渐减小三个阶段。随着电压的升高，峰值出现的时间也会提前。 关键词：感应耦合，等离子体放电，三维模拟，有限元方法，空间电缆耦合 1、引言 感应耦合等离子体放电在工程应用中具有广泛的应用，例如在气体放电、等离子喷涂等领域中都有应用。然而，由于放电过程的复杂性和不确定性，使得这类放电过程的数值模拟研究一直是热点和难点问题。近年来，有限元方法已经成为等离子体放电研究的重要工具之一，而三维有限元方法更是能够更加真实地反映空间电缆耦合等离子体放电的特点。因此，本文采用了三维有限元方法来建立数值模型，以研究感应耦合等离子体放电的特性。 2、数值模型的建立 本文数值模型的建立采用了三维有限元方法，并考虑了空间电缆耦合效应。模型的结构如下图所示：  其中，空间耦合区由两个电缆导线组成，分别为上下两根导线，导线之间的距离为$d$。上导线外侧为等离子体形成的区域，下导线被固定在地面上。模型的边界条件为电压源，与上导线间存在着$V_0$的电压差。 3、计算与分析 在模拟计算过程中，我们采用了电子输运模型和能量输运模型。在此基础上，我们进行了不同电压下的数值模拟，并分别计算了感应耦合等离子体放电出现的峰值随时间的变化。结果如下图所示：  从图中可以看出，随着电压的升高，峰值出现的时间也会提前，并且峰值出现的过程可以分为逐渐增大、达到顶峰、逐渐减小三个阶段。这与实际放电过程的特性比较一致。 4、总结与展望 本文采用三维有限元方法进行了感应耦合等离子体放电特性的模拟研究，研究结果表明了感应耦合等离子体放电峰值随时间的变化规律，并初步分析了其机理。但是本研究还存在一些问题，例如在电压高于一定阈值时，模型所采用的输运模型可能存在误差，需要进一步改进和验证。此外，模型中对气体种类、温度、压强等物理参数的影响研究也有待进一步探索。