声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器.pdfVIP

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2023-11-22 发布于四川
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声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器.pdf

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一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，声表面波谐振器装置包括：压电基板；叉指换能器，设置于压电基板上，且包括第一叉指电极结构和第二叉指电极结构，每个叉指电极结构包括彼此相连的叉指电极和叉指电极引出部；第一温度补偿层，设置于压电基板上，且包括主体部和凸出部，主体部覆盖叉指换能器，凸出部在垂直于压电基板的主表面的第三方向上朝向压电基板凸出于主体部，且在平行于压电基板的主表面的方向上被压电基板环绕，其中压电基板包括第一压电部和第二压电部，第一压电部的第一压电表面和第二压电部的第二压电表面各自连续

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117097296 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311345399.2 (22)申请日 2023.10.18 (71)申请人深圳新声半导体有