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本发明提供了一种具有高硬度与高变形能力的层状纳米金属玻璃薄膜及其制备方法,该方法采用共溅射制备具有高密度纳尺度非晶/非晶层状界面的金属玻璃薄膜,其微结构独特之处在于组元层为元素相同但含量不同的非晶CuTa合金,该非晶组元层厚度控制在极小尺度;本发明充分利用二元Cu‑Ta合金的优异非晶形成能力,采用两种金属元素即可形成纳尺度非晶/非晶界面,大幅度减少了合金元素的消耗,亦避免了合金靶材的复杂制备过程或昂贵合金靶材的定制,从而极大降低了材料的制备成本;本发明的金属玻璃薄膜具有高硬度与高变形能力(微尺度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117107204 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311095164.2 C22C 45/10 (2006.01)
(22)申请日 2023.08.
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