一种测试碳化硅晶体主参考面取向的方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种测试碳化硅晶体主参考面取向的方法.pdf

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本申请公开了一种测试碳化硅晶体主参考面取向的方法，该方法包括：1)选取(11‑28)晶面作为参考面，计算该晶面的布拉格衍射角θ；2)调整X射线定向系统，选取一条法线，使得定向系统发射的入射线与反射线的交点聚焦在碳化硅晶体顶面的中心点上；入射线与(11‑28)晶面之间的夹角以及反射线与(11‑28)晶面之间的夹角均为θ，入射线与反射线所在的平面与碳化硅晶体的(1‑100)晶面平行，X射线定向系统显示第一信号强度值；3)然后转动测试台，当X射线定向系统显示的信号强度值相对第一信号强度值最大时，测试台

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117110337 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311069490.6 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人山东天岳先进科技