一种超声雾化热解喷涂薄膜制备装置.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种超声雾化热解喷涂薄膜制备装置.pdf

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本发明公开了一种超声雾化热解喷涂薄膜制备装置，包括主机箱、安装壳体和薄膜制备组件，薄膜制备组件安装在安装壳体围成的安装腔内；薄膜制备组件包括第一支柱、第二支柱和安装底座，安装底座上设加热器和衬底托，该衬底托由电机驱动，衬底置于衬底托上，第一支柱上转动连接有第一支架，第一支架上设有喷嘴，该喷嘴位于衬底上方位置，喷嘴通过气溶胶管道与气溶胶接口连通，第一支架转动时能够带动喷嘴同步旋转，以使喷嘴与衬底托之间呈现出不同夹角。本方案一方面衬底托转动方向和速度可控，有利于获得更高质量的薄膜；另一方面可实现气溶

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117139032 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202310816814.1 (22)申请日 2023.07.04 (71)申请人重庆理工大学地址 400050