阵列式扬声器悬空振动薄膜及制备方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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阵列式扬声器悬空振动薄膜及制备方法.pdf

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本发明涉及一种阵列式扬声器悬空振动薄膜及制备方法，制备方法包括：S1，在扬声器晶圆表面制作若干顶层支撑柱，采用深反应离子刻蚀在扬声器晶圆背面进行背腔刻蚀，表面形成梁膜；S2，在玻璃片表面涂覆PPC材料作为分离层，并烘烤，使PPC材料固化，然后在在分离层表面涂覆聚酰亚胺材料，玻璃片的尺寸大于扬声器晶圆尺寸；S3，将扬声器晶圆反扣在玻璃片的聚酰亚胺材料上，形成贴合物；S4，保持水平状态，将贴合物在N2烘箱内升温加热、粘合；S5，翻转贴合物，升温固化，PPC材料液化挥发，扬声器晶圆脱离，聚酰亚胺材料固

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117156352 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311018927.3 (22)申请日 2023.08.14 (71)申请人常州元晶电子科技有限公司地址