一种中长波红外偏振探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种中长波红外偏振探测器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种中长波红外偏振探测器及其制备方法，探测器具备如下器件结构：硅衬底上覆盖有SiO2介质层，SiO2介质层上设有第一锰钴镍氧薄膜台面和第二锰钴镍氧薄膜台面；第一锰钴镍氧薄膜台面下设有Ti/Au底反射层及延展电极，上设有Cr/Au周期性金属方盘阵列，Cr/Au周期性金属方盘阵列的四周设有Cr/Au/Cr环状顶电极；第二锰钴镍氧薄膜台面上设有Ti/Au/Ti侧边延展金电极；Cr/Au/Cr环状顶电极与Ti/Au/Ti侧边延展金电极之间搭附有Te纳米线；Ti/Au底反射层及延展电极与Ti/

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153896 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202310908463.7 H01L 31/0236 (2006.01)