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本发明提供一种设计的流程、控制器的调整容易，无需有关控制理论的特别的知识，能够高精度且高速的定位的基于NCTF控制方法的线性电机平台的控制方法以及控制装置。在平板上设置有能够移动的工作台的线性电机平台上进行定位时，通过使用了名义特性轨迹的NCTF控制，使工作台跟随源于平板的振动，抑制在使工作台跟随平板的振动的过程中所发生的高频振动，所述名义特性轨迹由开环实验得到，所述开环实验使用向所述线性电机平台的输入信号。向NCTF控制加入前馈控制。以抑制平台对相对于工作台的平板的相对性运动的、源于平板的振动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111324033A
(43)申请公布日
2020.06.23
(21)申请号20191
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