原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种高质量锆钛酸铅晶体薄膜的制备方法，涉及功能材料技术领域。本发明制备过程包括以下步骤：将铅源与溶剂混合，加热反应后冷却，之后加入锆源和钛源进行反应，得到PZT前驱体溶液；以镧系物质为靶材，利用磁控溅射法制备种子层；之后将PZT前驱体溶液涂覆于种子层表面，经热解、退火处理后得到锆钛酸铅晶体薄膜。本发明通过溶胶‑凝胶法制备出稳定的PZT前驱体溶液，并利用种子层制备出光滑无裂痕、具有(100)择优取向的高质量PZT晶体薄膜，具有制备工艺简单、操作方便、原料易得、制备成本较低的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117185810A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311157474.2
(22)申请日2023.09.08
(71)申请人聚合电光（杭州）
文档评论（0）