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本发明提供了一种提升干泵机组抽气能力的方法，干泵机组包括前级泵和后级泵；根据前级泵的转子间以及转子与泵腔之间的缝隙尺寸，得到转子横向热膨胀允许范围；在转子横向热膨胀允许范围选取转子热膨胀量，并将转子热膨胀量对应的温度值设定为工作温度设定值；在干泵机组参与产品加工过程中，前级泵以工作温度设定值为标准来运行，使前级泵的转子热膨胀达到所述转子热膨胀量，前级泵的转子间以及转子与泵腔之间的缝隙减小，以提升前级泵在低真空时的抽速，从而提升干泵机组抽气能力。该方法利用温度造成的前级泵转子热膨胀来减小转子间以及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117212163A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311337879.4
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人广东鸿浩半导体设
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