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本发明公开了一种石墨盘装载装置及其装载方法，涉及石墨盘装载技术领域，包括六边形底盘，六边形底盘的六个侧边中部均开设有十字滑槽，位于左前方、前方、右前方的十字滑槽内均卡合有第一十字滑块，每块第一十字滑块的顶端部均固设有连接板，每块连接板的顶端部均固设有固定支架；位于左后方、后方、右后方的十字滑槽内均卡合有第二十字滑块，每块第二十字滑块的顶端部均固设有双耳座，每个双耳座的开口内均设有单耳座，每个单耳座的顶端部均固设有翻转支架。本发明可对不同尺寸的石墨盘进行批量性固定，并采用等间隔放置，避免造成石墨盘
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117208384A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311335005.5
(22)申请日2023.10.16
(71)申请人山西中科潞安半导体技术研究院有
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