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晶棒缺口的角度测量装置.pdfVIP

晶棒缺口的角度测量装置.pdf

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    一种晶棒缺口的角度测量装置，包括：基座、角度尺、指示件和至少一个定位件；其中，角度尺设置于基座上；指示件以角度尺的圆心作为旋转中心与基座枢接；定位件设置于指示件上；定位件用于对晶棒进行缺口定位，指示件用于在定位件实现缺口定位时在角度尺上指示缺口的旋转角度。本申请可以准确地对晶棒缺口旋转角度进行测量确认，避免晶棒缺口旋转角度错误或者出现偏差，降低产品报废率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117213344A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311288024.7

    (22)申请日2023.09.28

    (71)申请人上海新昇半导体科技有限公司

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